선생님의 악센트나 강조하실때의 강약이 매우 좋으셔서 어느부분이 중요한지에 대한 감을 자연스럽게 잡을수 있었습니다
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이번주차에는 공지훈 선생님께서 반도체공정의 기초와 데포지션&금속배선 에대해서 강의해 주셨습니다. 선생님의 악센트나 강조하실때의 강약이 매우 좋으셔서 어느부분이 중요한지에 대한 감을 자연스럽게 잡을수 있었습니다. 또한 가장인상깊이 본것은 증착공정설명하실때 실제로 증착을 하는 공정과정을 영상으로 보여주셨는데 전체적인 큰틀을 훨씬 직관적으로 이해할수 있는데 큰도움이 됬던것같습니다. 증착공정중에서 가장 애매했던 스퍼터링법과 peCVD법의 플라즈마 사용 용도 차이에 대한것도 확실하게 알수있었고 ALD기법에 대해서도 왜 해당기법이 좋은지 우수한 스텝커버리지를 갖는지에 대한 의문도 해결할수있었고 RF 스퍼터링시에 걸리는 셀프 바이어스의 원리에 대한것도 설명해주셔서 전공적인 부분에서도 보충을 했습니다.
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