NCS 반도체 Photo 공정핵심정리
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최근 반도체 기업들이 EUV 장비를 확보하기 위해 경쟁하고 있는만큼
공정에 있어서 가장 중요하다고 생각하는 파트입니다.
이 강의에서는 EUV를 도입함으로써 얻을 수 있는 효과와 Photo공정에서 자주 발생하는 이슈를
해결할 수 있는 해결방안도 잘 나와있어서 공부하기에 편했습니다. |
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